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回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

研发人员采用模块化、集成化设计，通过机械设计和硬件结构的不断升级，相较于初代产品结构更加紧凑，使用更为方便；设计为箱体式结构，更好地保护装置本体和标准器，实现长途携带，便于在实验室和现场校准使用。目前，很新代该装置体积约500mm×500mm×850mm。

▲科研人员使用便携式真空计校准装置

第二为了使装置功能强，能够校准不同种类的真空计，要保证装置量程足够宽、精度高。研发人员采用多种计量方法，将静态比较法、动态比较法、动态流量法等集成在一起。由于各种方法的原理、结构均不相同，甚至可能相互干涉，研发人员不断反复地进行迭代试验，创新性地将它们设计组合在一起，实现宽量程、高精度的校准。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。①10～10-1Pa量程：规管须垂直倒置，在真空度优于10-2Pa时调定加热电流(此时热电势为10mV，即满刻度)，其加热电流可调节范围为95～150mA。②102～10Pa量程：规管须垂直倒置，在0.1MPa时调定加热电流，其加热电流可调节范围为175～300mA或以上。

热偶计规管的结构较电阻式规管复杂一些，但p-E校准曲线受外界温度的影响较小。 MEMS传感器具有小型化、低成本、、易与CMOS集成电路兼容等特点。在不同类型的MEMS传感器中， 很普遍、应用 很广泛的是压阻式和电容式传感器。与压阻式传感器相比，电容式传感器具有灵敏度高、温度系数低、功耗低等优点。

MEMS电容薄膜真空计作为MEMS电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。MEMS电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。MEMS电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。

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火星携带式真空计校准装置

真空计校准装置怎样完成“小直尺”充分发挥“大功效”？

回望携带式真空计校准装置的产品研发过程，为了确保校准装置的灵巧应用，以完成线上校准的初衷为牵引带，真空事业部商品研发人员在早期技术性累积基本上，进行集智科技攻关，提升了诸多技术性困难。为了更好地达到不一样室内空间、不一样自然环境的灵巧应用，要确保“直尺”容积充足小、便捷带上。

研发人员选用模块化设计、一体化设计方案，根据机械结构设计和硬件配置构造的持续更新，相比于初代产品构造更为紧密，应用更加便捷；设计方案为壳体式构造，能够更好地维护装置本身和规范器，完成远途带上，有利于在试验室和当场校准应用。现阶段，很新代该装置容积约500mm×500mm×850mm。

火星科技人员应用携带式真空计校准装置

为了更好地校准装置的后期发展趋势，具有更多用途，要确保装置具备扩展作用插口。研发人员选用在装置中预埋通用性真空插口的方法，便捷后面产品组合策略，扩展新的作用，如扩展标准孔板校准、测漏等作用。根据真空事业部很多年来的持续克难攻坚，胆大自主创新，现阶段研制的携带式真空计校准装置在机器设备外型、顾客页面及实际操作应用上更为美观大方有效，具有体型小、易带上，不会受到自然环境、室内空间等原因危害，随时都可以开展校准应用，

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